真空鍍膜機(jī)是(shì)目前(qián)製作真空條件(jiàn)應用最(zuì)為廣泛的真空設(shè)備,一般用真空室、真(zhēn)空機組、電氣控製櫃(guì)三大部分組成,排氣係統采用擴散泵+機械(xiè)泵+羅茨泵(bèng)+低(dī)溫(wēn)冷阱+polycold組成。
下麵,詳細介紹真空鍍膜機的(de)各部分組成及其工作原理:
1、真空主體:真空腔根據(jù)加工產品要求的各異,真(zhēn)空腔的大小也不一樣,目前(qián)應用最多的有(yǒu)直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔體由不(bú)鏽鋼材料製作,要求不生鏽、堅實等,真空腔各部分有(yǒu)連接閥,用來連接各抽氣泵浦。
2、輔助抽氣係統:排氣係統為鍍膜機真空係統的重要部分,主(zhǔ)要有(yǒu)由機械泵、增壓泵(主要介(jiè)紹羅茨泵(bèng))、油擴散泵三大部分(fèn)組成。此(cǐ)排氣係統采用"擴散泵+機械泵+羅茨(cí)泵+低溫冷阱+polycold"組成。排氣流程為:機械泵先將真空腔抽至小於2.0*10-2PA左右的低真空(kōng)狀態,為擴散泵(bèng)後繼(jì)抽真空提供前提,之後當(dāng)擴散泵抽真空腔的時候,機械泵又配合油擴散泵組成串聯,以這樣的方式完成(chéng)抽氣動作。
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