最直接的
鍍膜控製方法是石英晶體微量平衡法(QCM),這種儀器可(kě)以直接驅動蒸(zhēng)發源,通過PID控(kòng)製(zhì)循環驅動擋(dǎng)板,保持蒸發速率。隻要將儀器與係(xì)統控製軟件相連接(jiē),它就可以控製整個的鍍膜(mó)過程。但是(QCM)的精確度是有限的,部(bù)分原因(yīn)是由於它監控(kòng)的是被鍍膜的質量而不是(shì)其光學厚度。
此外雖然QCM在較低溫度下(xià)非常穩(wěn)定,但溫度較高時,它會(huì)變得對溫度非常敏感。在長時間的加熱過程中(zhōng),很難阻止傳感器跌入這(zhè)個敏感區域,從而對膜層造成重大誤差。
光學監控是
高精(jīng)密鍍膜的的首選監控方式,這是因為它可以更精確(què)地控製(zhì)膜層厚度(如果運用得當)。精確度的改進源於(yú)很多因素(sù),但最根本的原(yuán)因是(shì)對光學厚度的監(jiān)控(kòng)。
OPTIMAL SWA-I-05單波長光學監控係統,是采用間接測控,結合汪博士開發(fā)的先(xiān)進(jìn)光學監控軟件,有效提高光(guāng)學反應對膜厚度變化靈敏度的理論和方法來減少終極誤差,提供(gòng)了反饋或傳輸的選擇模式和大範圍的監測波長。特(tè)別適合於各種(zhǒng)膜(mó)厚的
鍍膜監控包(bāo)括非規(guī)整膜監控。