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PVD 工藝過程

作(zuò)者: 來源: 日期:2016-10-19 8:38:29 人氣:5299
PVD 工藝過程
塗層技術及工藝流程塗層技術及工藝流(liú)程塗層技術及工藝(yì)流程塗層(céng)技術及工藝流程     1.真空塗層技術的發展   真空塗層技術(shù)起步時間不長(zhǎng),國(guó)際上在上世(shì)紀六十年代才出現將CVD(化學氣相沉積)技術應用於硬質合金刀具上。由於   該技術需在高溫下進行(háng)(工藝溫度高(gāo)於 1000ºC),塗層種類單一,局限性很大(dà),因此,其發(fā)展初期未免差強人意。   到了上世紀七十年代末,開始出現(xiàn) PVD(物理(lǐ)氣相沉積) 技術,為真空塗(tú)層開創了一個充滿燦爛前景(jǐng)的新天地,之後在短短的二、三十年(nián)間PVD 塗層技術得到迅猛發展,究其原因(yīn),是因為其在真空密封的腔體內成膜,幾乎無任何環境汙染問(wèn)題,有利於環保;因為其能得到光亮、華貴的表麵,在顏色上,成熟的有七彩(cǎi)色、銀色、透(tòu)明(míng)色、金黃色、黑色、以及由金黃(huáng)色到黑色之間(jiān)的任何一種顏色,可謂五彩繽紛,能夠(gòu)滿(mǎn)足裝飾性的各種需要;又由於 PVD 技(jì)術(shù),可以輕鬆得到其他方法難(nán)以獲得的高硬度、高耐磨性的陶瓷塗層、複合塗層,應用在工裝、模具上麵,可以使(shǐ)壽命成(chéng)倍提高,較好地實現了低成本、高收益的效果;此外, PVD 塗層技(jì)術具有低溫(wēn)、高能兩個特點,幾乎可(kě)以在(zài)任何基材上成膜,因此,應用範圍十分廣闊(kuò),其發展神速也就不足為奇(qí)。   真空(kōng)塗層技術發(fā)展到了(le)今天還出現了PCVD(物理化(huà)學氣相沉積)、MT-CVD(中(zhōng)溫化學氣相沉積)等新技術,各種塗層設備(bèi)、各種塗層工藝(yì)層(céng)出不窮,如今在這一領域(yù)中,已呈現出(chū)百花齊放,百家爭鳴(míng)的喜人(rén)景象。   與此同時,我們還(hái)應該清醒地看到,真空塗層技術的發展(zhǎn)又是嚴重不平衡的。由於刀具、模具的工作環境極其惡劣,對薄膜附著力的要求,遠高於裝(zhuāng)飾塗層。因而,盡(jìn)管裝飾塗層(céng)的廠家已遍布各地,但(dàn)能夠生產工模塗層的廠家並不多。再加上刀具、模具塗層(céng)售後服務的欠缺(quē),到目前為止,國內大多數塗層設備廠家都不能提供完整的刀具(jù)塗層工藝技術(包括前處理工藝、塗層工藝、塗後處理工藝、檢測技術、塗層刀具和模具的應用技術等),而且,它還要求工藝技術人員,除了(le)精通(tōng)塗層的專業知(zhī)識以外,還應具有紮實的(de)金屬材料與熱處理知識、工模塗層前表麵預處理知識、刀具、模具塗層的合理(lǐ)選擇以及上機使用的技術   要求等,如果任一環節(jiē)出現問題(tí),都會給使用者產生使用效果不理想這樣的結論。所有這些(xiē),都嚴重製約了(le)該技術(shù)在刀(dāo)具、模具上的應用。   另一方麵,由於該技(jì)術是一門介乎(hū)材料學、物理學、電子、化(huà)學等學科的新興邊緣學科,而國內將其應(yīng)用於刀具、模具生產(chǎn)領域內的為數不多的幾個骨幹廠家,大(dà)多走的也是一條從(cóng)國外(wài)引進先進設(shè)備和工藝技術的路子,尚需一個消化、吸收的過程(chéng),因此(cǐ),國內目前在該領域內的技術力量與其發展很不相稱,急需(xū)奮起直追。   2. PVD 塗層的基本概念及其特點   PVD 是英文“Physical Vapor Deposition”的縮寫形式,意思(sī)是物(wù)理氣相沉積。我們現在一般地把真空(kōng)蒸鍍、濺射鍍膜、離子鍍等都稱為物理氣相(xiàng)沉積。   較為成熟的 PVD 方法主(zhǔ)要有多(duō)弧鍍與(yǔ)磁控濺射鍍兩種方式。多(duō)弧鍍設備結構簡單,容易操作。它的離子蒸發源靠電焊機電源供電即可工作,其引弧的過程也與電焊(hàn)類似,具體地說,在一定工藝氣壓下,引弧針(zhēn)與蒸發離(lí)子源(yuán)短暫接(jiē)觸,斷開,使氣體放(fàng)電。由(yóu)於多弧鍍的成因主要是借助於不斷移動的弧斑,在蒸發源表麵上連續形成熔(róng)池,使金屬蒸發後,沉積在基(jī)體上而(ér)得到薄膜層的,與(yǔ)磁控濺射相比,它不但有靶材利用率高,更具有金屬離子離化率高,薄膜與基體之(zhī)間結合力強(qiáng)的(de)優點。此外,多弧鍍塗層顏(yán)色較為穩(wěn)定,尤其是在做 TiN 塗層時,每一批次均容易得到相同穩定的金黃色(sè),令磁(cí)控濺射法望塵莫及。多(duō)弧鍍的不足之處是,在用傳統的 DC 電源做低溫塗層條件下,當塗層厚度達(dá)到0.3μm 時,沉積率與反射率接近(jìn),成膜變得非常(cháng)困難。而且(qiě),薄膜表麵開始變朦。多弧鍍另一(yī)個不足之處是,由於金屬是熔後蒸發,因(yīn)此沉積顆粒較大(dà),致密度低,耐磨性比磁控濺射法成膜差(chà)。   可見,多弧鍍膜與磁控濺射法鍍膜各有優劣,為(wéi)了盡可能地發揮它們各自的優越性,實現互(hù)補,將(jiāng)多弧技術與磁控技術(shù)合而(ér)為一的塗層機應運而生。在工藝上出現了多弧鍍打底,然後利用磁控濺(jiàn)射法增厚塗層,最後再利用多(duō)弧鍍達到最終穩(wěn)定的表麵塗層顏色的新方法。   大(dà)約在八十年代中後期,出(chū)現(xiàn)了熱陰極(jí)電子槍蒸發離子鍍、熱陰極弧磁控等離子鍍膜機,應用效果很好(hǎo),使TiN 塗層刀具很(hěn)快得到普及性應用。其中熱陰(yīn)極電子槍蒸發(fā)離子鍍,利用銅坩堝加熱融化被(bèi)鍍金屬材料,利用鉭燈(dēng)絲給工件加熱、除(chú)氣,利用(yòng)電子槍增強離化率(lǜ),不但可以得到厚度 3~5μm的TiN 塗層,而且其結合(hé)力、耐磨性均有不俗表現,甚至用打磨的方法都難以除去(qù)。但是這些設備都隻適合於 TiN塗層,或純金屬薄膜(mó)。對於多元塗層或(huò)複合塗層,則力不從心(xīn),難以適應高硬度材料高速切   削以及模具應用多樣性的要求。   3. 現代(dài)塗層設備(bèi)(均勻加熱技術、溫度測量技術、非平衡磁控濺射技術、輔助陽極技術、中頻電(diàn)源、脈衝技術) 現代塗層(céng)設備主要由真空室、真空獲得部(bù)分、真(zhēn)空測(cè)量部分、電源供給部(bù)分、工藝氣體輸入係統、機(jī)械傳動部分、加熱(rè)及測溫部件、離子蒸發或濺射源、水冷係統等部(bù)分組(zǔ)成。   3.1 真(zhēn)空室   塗層設備主要有連續塗(tú)層生產線及單室塗層(céng)機兩種形式,由於工模塗層對加熱及機械傳動部分有較高要求,而且工模(mó)形(xíng)狀、尺寸千差萬別,連續塗(tú)層(céng)生產線通常難以滿足要求(qiú),須采用單室塗層機。   3.2 真空獲得部分   在真空(kōng)技術中,真空獲得部分(fèn)是重(chóng)要組成部分。由於工模件塗(tú)層高附著力的要(yào)求,其塗層工藝(yì)開始前背景真空度最好高(gāo)於6mPa,塗層工藝結束後真空度甚至可(kě)達 0.06mPa 以上(shàng),因此合(hé)理選擇(zé)真空獲(huò)得設備,實現高真空度至關(guān)重要(yào)。   就目前來說,還沒有一種泵能從大氣壓一直工作到接近超高真空。因此,真空的獲(huò)得不是一種真空設備和(hé)方法所能達到的,必(bì)須將幾種泵聯合使用,如機械泵、分子泵係統等。   3.3 真(zhēn)空測量部分   真空係統的真空測量部分,就是(shì)要對真空室內的(de)壓強(qiáng)進行測量。像真空泵一樣,沒有一種真空計能測量整個真空範圍(wéi),人們於是按不同的原理和要求製成了許多種類的真空計。   3.4 電源供給部分靶(bǎ)電源(yuán)主要有直流電源(如 MDX)、中頻(pín)電源(如美國 AE公司生(shēng)產的 PE、PEII、PINACAL);工件本身(shēn)通常需加直流電(diàn)源(yuán)(如 MDX)、脈衝電源(如美國AE公司生產的 PINACAL+)、或射頻電源(RF)。   3.5 工藝氣體輸入係統   工(gōng)藝氣體,如氬氣(Ar)、氪氣(Kr)、氮氣(N2)、乙炔(C2H2)、甲烷(CH4)、氫氣(qì)(H2)、氧氣(O2)等,一般均由氣瓶供應,經氣(qì)體減壓閥、氣體(tǐ)截止閥、管路、氣體流量計、電磁閥、壓電閥(fá),然後通入真空(kōng)室。這種氣(qì)體輸入係統的優點(diǎn)是(shì),管路簡捷(jié)、明快,維修或更換(huàn)氣瓶容易。各塗層機之間互不影響。也有多台塗層機(jī)共用(yòng)一組氣瓶的情況,這種情況在一些規(guī)模較大(dà)的塗層車間可能(néng)有機會看到。它的好處(chù)是,減少氣瓶占用量,統一規劃、統一布局。缺點是,由於接頭增多,使漏氣機會增加。而且,各塗層機之間會互相幹擾,一台塗層機的(de)管路(lù)漏氣,有可能(néng)會影響到其他塗層機的產品質量。此外,更換氣瓶時,必須保證所有主機(jī)都處於非(fēi)用氣狀態。   3.6 機械傳動部分   刀具塗層要求周邊必須厚度均勻一致,因此,在塗層過程中須(xū)有三(sān)個轉動量(liàng)才能滿足要求。即在要求(qiú)大工件台(tái)轉動(I)的同時,小的(de)工件承載台也轉動( II),並且工件(jiàn)本身還能同時自轉(III)。   在機械設計上,一般是在大工件轉盤底部中央為一大的主動齒輪,周圍是一些小的星行輪與之齧合,再用撥叉撥動(dòng)工件自轉。當然(rán),在做模具塗層時,一般有兩個轉動量就足夠了,但是齒輪可承載量必須大大增強。   3.7 加熱及(jí)測溫部分   做工(gōng)模塗層的時候,如何保證被鍍工件均勻加熱比裝飾塗   層加熱要重要得多。工模塗層設備一般均有前後兩個加熱器,用熱(rè)電偶(ǒu)測控溫(wēn)度。但是,由於熱電偶裝夾的為置不同,因而,溫度讀數(shù)不可能是工(gōng)件的真實溫度。要(yào)想(xiǎng)測得工件(jiàn)的真實溫度,有(yǒu)很多方法,這裏介紹一種(zhǒng)簡便易行的表麵溫度計法 (Surface Thermomeer)。該溫(wēn)度計的工(gōng)作原理是,當溫度計受熱,底(dǐ)部的彈簧將受熱膨脹,使指針推動定位指針旋轉,直到最高溫度。降溫(wēn)的時候,彈簧收縮,指針反向旋轉,但定位指針維持在最高溫度位置不動,開門後,讀取定位(wèi)指針指示的溫度,即為真空室(shì)內加熱(rè)時,表麵溫度計(jì)放置位置所曾達到的最高溫度值。   3.8 離子蒸發及(jí)濺射源   多弧(hú)鍍的蒸發源一般為圓(yuán)餅形,俗稱(chēng)圓餅靶,近幾年也出現了長方形的多弧靶,但未見有明(míng)顯(xiǎn)效果。圓餅靶裝在銅靶座(陰極座)上麵,兩者為羅紋連接(jiē)。靶座中裝有磁鐵,通過前後移動磁鐵,改變磁場強度,可調整弧斑移動(dòng)速度及軌跡。為了降低靶及靶座的溫度,要給靶座不(bú)斷通入冷卻水。為了保證靶與靶座之間的高導電、導熱性,還可以在靶與靶(bǎ)座(zuò)之間加錫(Sn)墊片。磁控濺射鍍膜一般采用(yòng)長方形或圓柱形靶材,   3.9 水冷係統   因為(wéi)工模塗層時(shí),為了(le)提高金屬原子的(de)離化率,各個(gè)陰極靶座都盡可能地采用大的功率輸出,需(xū)要充分(fèn)冷卻;而且,工模塗層中的許多(duō)種(zhǒng)塗層(céng),加熱溫度為 400~500ºC,因此,對真空室壁、對(duì)各個密封麵的冷卻也很重要(yào),所以冷卻水(shuǐ)最好采用18~20ºC 左(zuǒ)右的冷水機(jī)供水。為了(le)防(fáng)止開(kāi)門後,低溫的真(zhēn)空室(shì)壁、陰極(jí)靶與熱的空氣接觸析出水珠,在開門(mén)前(qián) 10 分鍾左右(yòu),水冷係統應有能力切換到供熱(rè)水狀態,熱水(shuǐ)溫(wēn)度約(yuē)為 40~45ºC。   4. 工模具PVD 的(de)工作(zuò)步驟(zhòu)   工模具 PVD 基(jī)本工藝流程可(kě)簡述為:IQC→前處理→PVD→FQC,分別介(jiè)紹如後。   4.1 IQC   IQC(In Quality Control)的主(zhǔ)要工作除了常規的清點數量   ,   檢(jiǎn)查圖紙與實物是否相符外,還須仔細檢查工件表麵,特別是(shì)刃口部位有無(wú)裂紋等缺陷。有時對(duì)於一些刀具、刀粒的刃口,在體式顯微鏡下觀察,更方便發現問題(tí);另外,IQC 的人員還要注意檢查待鍍膜件有無塑(sù)膠、低熔點的焊料等,這些東西(xī)如果因漏檢而混入鍍膜程序,則將在真空室內嚴重放氣,輕(qīng)者造成整批產品脫塗層,重者(zhě)使原本(běn) OK 的產品報廢,後果不堪設想。   4.2 前處理工藝(蒸汽槍、噴砂、拋光、清洗)   前處理的(de)目的是淨化或粗化工件表麵。淨化就是要去除各種表麵玷汙(wū)物,製備潔淨表(biǎo)麵。通常使用各種淨化劑,借助機械、物理或化學的方法(fǎ)進行淨化(huà)。   粗化與(yǔ)光蝕相反,其目的在於製備粗糙的表麵以提高噴塗層或塗料裝飾的結構強(qiáng)度。我們現在(zài)已有的前處理主要方法為:高溫蒸洗、清洗、噴砂、打磨、拋光等方法。   4.2.1   高溫蒸洗(xǐ)   目前,PVD 車間常用的高溫(wēn)蒸洗設備是蒸汽槍。它的(de)最大工作溫度可達 145?C,氣壓在 3~5 巴左右。由於模具中經常(cháng)帶有(yǒu)一些細小孔、螺紋孔,孔內中常常有油汙、殘餘冷(lěng)卻液等雜質,用(yòng)常規清洗的方法難以除(chú)去。此時,高溫蒸洗設備便可最大程度的發揮它的優越性。   
4.2.2   清洗   各廠工模塗(tú)層前清洗程序大致(zhì)如下:   1.超聲波除蠟→2.過水→3. 超聲波除油→4.過水→5. 超聲波自換→6.過水(shuǐ)→7.過純水→8.強風幹(gàn)燥   具體實施時,與我們所熟悉的裝飾塗層(céng)前的清洗又有許多不同。這是因為裝飾塗層的底材大多為不鏽鋼(gāng)或鈦合金,不容易生鏽。此外,裝飾塗層對水(shuǐ)印、點痣等缺(quē)陷是絕對不允許的。因此,裝飾塗(tú)層對純水的水質要求極高,甚至要達到 15MΩ 以上。要保證清洗的高質(zhì)量,可以通過反複清洗,並在高質量的純水(shuǐ)加超聲波中長時間浸泡來得到。但(dàn)是,工模的清洗就不同,尤其是一些熱做模(mó)具鋼,如果像裝飾塗層那樣去(qù)清洗,就會鏽得(dé)一塌糊塗(tú)。   由於工模(mó)塗層的原始表麵狀態,除了一些高標準的鏡麵模具以外,一般較裝飾塗層要粗糙,因(yīn)而,對塗層後的表麵狀態的要求也不象裝飾塗層那(nà)樣高,這就允許(xǔ)我們采取快速過水,用(yòng)幹燥、無油的壓縮空氣吹幹,然後對工模強風(fēng)幹燥的方法(fǎ)來處理。而那些高標準的鏡(jìng)麵模(mó)具,一般均為136 等不鏽鋼,可(kě)以借用裝飾塗層的清洗法。   總而言之,工模塗層前的清洗(xǐ)方法因工模所使用的材料的不(bú)同而(ér)不同,因工模塗層(céng)前的(de)表(biǎo)麵狀態的不同而不同(tóng),且不可千篇一律。下麵是幾種材料生鏽由難到易的排序(xù),供參考:
不鏽鋼、硬質合金、金屬陶瓷合金、DC53、高速鋼、8407 有(yǒu)一種自動清洗(xǐ)機型號為 CR288,產自德國(guó)。該機一次最大   清洗量為(wéi) 80KG,主要用於清洗刀(dāo)具、小型零部件、或小尺寸的模具。它共有三個清洗缸,裏麵的溶液分別為自來水+清洗劑、自來水、去離子水。除了常見的超聲波、大水衝(chōng)洗、噴淋(lín)、擺動、熱風幹燥(zào)等功能外(wài),該機另外(wài)一個優點是最後設有抽(chōu)真空(kōng)步驟,可以使水分盡快揮發掉。   自動清洗(xǐ)機內存十種工藝,均(jun1)由供方預先設定。一至九可分別用於不(bú)同類型的產品、不同的表麵狀態的淨化處理(lǐ)。第十種用於加注清洗劑(jì)。   4.2.3   噴砂   噴砂(shā)法(fǎ)是借助壓縮空(kōng)氣使磨料強力衝刷工件表麵,從而去除鏽蝕、積碳、焊渣(zhā)、氧化皮、殘鹽、舊漆層等表(biǎo)麵缺陷。按磨料使用條(tiáo)件,噴(pēn)砂分為(wéi)幹噴砂與濕噴砂兩類。   噴砂的工藝參數主要有槍距、傾角、裝夾台旋(xuán)轉速度、移動速度、行程、往返次(cì)數、噴砂時間、噴砂氣壓。我們已使用(yòng)過(guò)的參數有(yǒu)槍(qiāng)距:30~70mm; 傾角(jiǎo) 30~70?C; 裝夾台旋轉速度 10~30;往返(fǎn)次數 3~9 次(cì);噴砂氣壓:1.8~3.5 巴等。具體(tǐ)操作時,根據工件(jiàn)表(biǎo)麵髒汙(wū)程度,工件硬度,工件表麵(miàn)幾何形狀等因素,選取上下限。我們在幹噴砂機中(zhōng)所選用的(de)磨料為玻璃珠,適合噴一些硬度介(jiè)中的材料,如油鋼、模具等;在液體噴砂(shā)機(jī)中所(suǒ)選用的磨料為氧化鋁,硬度較高,適合噴一些硬度高的材料,如硬(yìng)質合金(jīn)材料。對於工模塗層而言,噴砂所使用(yòng)的磨料粒度也很重要。如果磨料粒度過大,則工件表麵太(tài)粗糙(cāo);如果(guǒ)磨料粒度太小,又會降低衝擊力度,甚至嵌在工(gōng)件表(biǎo)麵,清洗難以去(qù)除,從而(ér)使工件塗層附著力降低。為此,歐洲一些國家(jiā),對工模(mó)塗層前(qián)噴砂   所用磨料粒度做過仔細研究,嚴格到必須保證 85%以上的晶粒度在中 A、B 兩(liǎng)點範圍內才能使用。相比之下,我國磨料的供(gòng)應商(shāng)還缺乏這方麵的共識,我們也很少有做這方麵的檢驗。   4.3 PVD 塗層(céng)工藝(加熱、離子清洗、塗層、冷卻(què)、工藝氣體、氣壓、溫度、濺射功率)   4.4 FQC   FQC 的英文全拚為:“Function Quality Control”,意思是功能質量控製(zhì),它有別與一般意義上的 OQC(Out Quality Control) 。FQC 的內容主要包括外觀檢查、層深檢查、附(fù)著力檢查、耐磨性檢(jiǎn)查(chá)、抗蝕性檢(jiǎn)查(chá)、模擬性測試(shì)等方(fāng)法。我廠(chǎng)目前應用的(de)主要有(yǒu)外觀(guān)檢查、層深(shēn)檢查和附著力檢查。由於我們所(suǒ)接(jiē)觸的產品大多都是不允許做(zuò)破壞性檢查的,因而我們在鍍膜時,每批都會(huì)放進隨批試樣。做層深檢查(chá)和附著力檢查(chá)的時候,大多數情況下,實際上是對隨批試(shì)樣進行檢查。因為(wéi)試樣與產品在原材料、熱處理(lǐ)狀態、裝夾位置等方麵都難於一致,所以這(zhè)樣檢測出的結果,與產(chǎn)品實際值會有一定的誤差(chà)。有時可能還會有相當大的誤差,隻能做參考使用。當然,必要的時候,我們也可以通過製作模(mó)擬件,達到準確測量的目的。  
 4.4.1   外觀檢
對於開門取件後的產品,應仔細檢查(chá)表麵有無裂紋、掉塗層、疏鬆等缺陷(xiàn)。對於刀(dāo)具(jù)、刀粒,還需在顯微鏡下仔細檢查它們的刃口狀態。   4.4.2   層深檢查   層深檢查有切片金相觀察法、X-ray 檢查法(fǎ)、用單色光做光源的光學測試法、球磨儀測試(shì)法等多種方法。工模塗層的層深檢查是(shì)在(zài)球磨(mó)儀上進行的。方法是先用直徑為 10mm 的鋼球與測試表麵滾磨,然後在顯微鏡下測量磨痕(hén)的(de)有關數據,帶入公式中,即可方便算出層深。   這種層(céng)深檢查法的特點是:方便適用(yòng),誤差稍大。但這種(zhǒng)誤差應用於工模上麵影響不會太大。有興趣的同(tóng)事還可參閱有(yǒu)關的說明書。附著力的(de)檢查方法有很多,各個廠根據自己產品的特點(diǎn),都製定了相應的檢測方法。其中,比較(jiào)權威(wēi)的方法有兩種,一種是在洛氏硬度計上,以圓(yuán)錐型金剛石壓頭做壓痕試驗,在(zài)顯微鏡下觀察(chá),以壓痕周邊裂紋的多少來判斷塗層附著力的高低(dī)。該方法對金剛石壓頭的形狀要求很高,不但嚴格要求中心點在圓的中心,而且金剛石圓錐的圓度必須十分規則。遺憾的(de)是,目前,我國還沒(méi)有它(tā)的國家或行業標準;另一種方法是劃痕法,我國有(yǒu)些塗層發起較早(zǎo)的科(kē)研部門,也是采用的該方法,有(yǒu)專門的國家行業標準可供查詢。   5. 工裝(zhuāng)夾具的處理(lǐ)   6. 塗後(hòu)處理工藝(噴砂、塗脂技術,拋(pāo)光處理)   7. 檢測技術(結合力的檢測(cè)、層深的檢測、酸蝕)   8. 塗層剝離技術(shù)(TiN/TiAlN 的剝(bāo)離技術、CrN/DLC/CrAlTiN 的剝離技術、硬質(zhì)合金(jīn)的表麵塗層剝離技術)   9.塗層刀具的應用技術(塗層的正確選擇、塗層刀具的正確(què)使用   塗層對刀具(jù)的優化(huà)非常大,由於高速切(qiē)削加工比傳統切(qiē)削加工所(suǒ)產生的溫度(dù)要高,應用塗層,可以發揮其耐高溫、抗氧化(huà)及加硬材質(zhì)等作用。例如,氮化鉻(CrN)塗層(céng)可降低磨擦係數,改善光潔度及排屑情況 



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