真空(kōng)鍍膜技術是真空應用技術的一個重要分支,它已廣泛地應用於光學、電子學、能源開發,理化儀器、建築機(jī)械、包裝、民用(yòng)製(zhì)品、表(biǎo)麵(miàn)科學以及(jí)科學(xué)研究等領域中。真空鍍膜所采用的方法主要有蒸發鍍、濺射鍍、離子鍍、束(shù)流沉積鍍以及分子束外延等。此外還有化學氣相沉積法(fǎ)。如果(guǒ)從真空鍍膜的目(mù)的是為了改變物質表麵的(de)物理、化學性能的話,這一技術又是真(zhēn)空表麵處理技術中的重要組成部分,其分類如表 6 所示(shì)。現就其幾個主要應用方麵做一簡單介紹。
首先在光學方麵,一塊光學(xué)玻璃或石英表麵上鍍一層或幾層不同物質的薄膜後,即可成為高反射或無反射(即增透膜)或者作(zuò)任何預期比例的(de)反射或透(tòu)射材(cái)料,也可以作成(chéng)對某種波長的(de)吸收,而(ér)對另一種波長的透射的濾色片。高反射膜從大口徑的天文望(wàng)遠鏡和各種激(jī)光器開(kāi)始、一直到新(xīn)型(xíng)建築物的大窗鍍膜茉莉,都很需要。增透(tòu)膜則大量用於照相(xiàng)和各(gè)種激光器開始、一直到新型建築物的大窗鍍膜玻璃,都很需要(yào)。增(zēng)透膜則大量用於照相機和(hé)電視攝象(xiàng)機的鏡頭上。
在電子學方麵真空鍍膜更占有極為重要的地位。各種規模的繼承電路。包括存貯器、運算器、告訴邏輯元件等(děng)都要采(cǎi)用導(dǎo)電膜、絕緣膜和保護膜。作(zuò)為(wéi)製備電路(lù)的掩膜則用到鉻膜。磁帶、磁盤、半導體激(jī)光器,約瑟夫遜器件、電荷耦合器件( CCD )也都甬道各種薄膜。
在顯(xiǎn)示器(qì)件方麵,錄象磁頭、高密度錄象帶以及平麵顯示裝置的透(tòu)明導電膜、攝像管光導膜、顯示管熒光屏的鋁襯等也(yě)都是采用真空鍍膜法製備。在元件方麵,在真空中蒸發鎳鉻,鉻或金屬陶瓷可以製造電阻,在塑料上蒸發(fā)鋁、一氧化矽、二(èr)氧化鈦(tài)等可以製造(zào)電容器,蒸發硒可以得到靜電複印機用的硒鼓、蒸發鈦(tài)酸鋇可以製造磁致伸縮的起聲(shēng)元件(jiàn)等等。真空蒸發還可以用於製造(zào)超導膜和慣性約束巨變反應用的微珠鍍層。此外還可以對珠寶、鍾表外殼表(biǎo)麵、紡織品金屬花紋、金絲銀絲線等蒸鍍裝飾用薄膜,以及采用(yòng)濺射鍍或離子鍍對刀具、模具等製造超硬(yìng)膜。近兩(liǎng)年內所興起的多弧離子鍍製備鈦金製(zhì)品,如不鏽鋼薄板、鏡麵板、包柱、扶手、高檔床托架、樓梯欄杆等目(mù)前正在盛行(háng)。