電阻(zǔ)真空計(又叫皮喇尼真空計):
它主要由電熱絲、外殼和支架構成,主要是根據(jù)在低壓下,氣體的熱傳導係數與壓強成正比(bǐ)的方式工作的。上麵開口處與被測真空係統相連接,熱絲采用電阻溫度(dù)係數大的金屬絲做(zuò)成,兩支支架引線與測(cè)量線路連接。當壓強(qiáng)降低的時候,由於氣體熱傳導散失的熱量減小,因此當熱(rè)絲加熱電流穩定時候,則熱絲溫度就上升,熱絲的電(diàn)阻就增大,用測量熱絲(sī)電阻值的大小來間接測量壓強。
磁(cí)控放電真空計: 工作原理:在放電開始時,由於空間遊離(lí)電子向陽極運動時,在(zài)正(zhèng)交電(diàn)磁場作用下,電子的軌跡不是直線而是螺旋線前進,又因為陽極是框形,故電子(zǐ)不一定(dìng)第一次就碰上(shàng)陽極,而是穿過陽極,然後(hòu)受到對麵陰極的拒斥,又複返回。這樣反複多(duō)次(cì)才可能(néng)打上陽極(jí)。由於(yú)電子路程大大加(jiā)長(zhǎng),故碰撞及電離的(de)分子數增加,使得在較低壓(yā)強(qiáng)(10-4帕以下)仍維持(chí)放電(也稱潘寧放電)。
目前比較(jiào)多的型號有PKR251、GI-PARY
放電管真空計:
在玻(bō)璃管中封入兩個金屬電極,在其上(shàng)加上數千伏的直流高(gāo)電壓,在一定的(de)壓強範圍(wéi)內(1*10-3~2*10托)內就能引起自持放電,通過放(fàng)電顏色來判定其真空度 。 目前為止此種真空計已經很少使(shǐ)用(yòng),因(yīn)為其誤差大(dà),容易(yì)損壞,而且壽命不長。
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