油擴散泵（bèng）的應用壓（yā）強範圍是10-1帕-10-7帕，它是利用氣體的擴散現象來排氣的（de），它具有結構簡單，操作方便，抽速大（最高可以達到10+5升/秒）等（děng）特點。油擴散泵主要由泵殼、噴嘴、導流管和加（jiā）熱器組成，裏麵（miàn）主要添（tiān）加擴（kuò）散泵油（日本的型號是D-704#），根據噴嘴的多少可以分為單級泵（bèng）和多級泵。 

        擴散泵（bèng）底部內儲（chǔ）存有擴散泵油，上部為進氣口（kǒu），右側旁下部為出氣口，在工作時出氣口由機械泵提供前置壓強，機械（xiè）泵充當前置泵。 

        當擴（kuò）散（sàn）泵的油被電爐加熱時，產生的油蒸（zhēng）汽提供前置壓強，機械泵充當（dāng）前（qián）置泵。當擴散泵（bèng）油被電爐加熱時，產生的油蒸汽沿著導流管經傘形噴嘴向下（xià）噴出。因噴嘴外麵有機械泵提供的1-10-1帕的真空，故油蒸汽（qì）可（kě）噴出一段距離，構成一個向出氣口方向運動的射流。射流最後碰上由冷卻水冷卻的泵壁，凝結為（wéi）液體，流回蒸發器（qì），即靠油的蒸發（fā）——噴射——凝結，重複循環來實現抽氣的。 

         由進（jìn）氣口進入泵內的氣體分子，一旦落入蒸汽流中，便獲得向下運動的動量，向下飛去，由於射流具有高的流速（sù）（約200米/秒），高的蒸汽密度，且擴散泵油具有高的分子量（300-500）故能有效的帶走氣體分（fèn）子，因此在射流的界麵（miàn）內，氣體分（fèn）子不可能長期滯（zhì）留，且在射流界麵的兩邊，被抽氣體有很大的濃度差（chà），正（zhèng）是因為這個濃度（dù）差被抽氣體能不（bú）斷（duàn）的越過界麵，擴散（sàn）進入射流中，被帶往出口處，在出（chū）口處再由機械泵抽走。 

         擴散泵的油蒸汽壓是決定泵的極限真空的重要因素，因此盡量選用飽和蒸汽壓低的泵油，其化學特性要（yào）好。 

         擴散泵不能單獨（dú）用來抽氣，一般要求泵的最大出口壓強為40帕。擴散泵的抽速決定（dìng）於第一級噴嘴與泵體進氣口口徑間環形麵積的大小，抽速不是一恒定的值，而是隨著進氣口的壓強而變化的，當壓強在10-2～10-3帕的時候，擴（kuò）散泵的抽氣速（sù）度是最快的，當壓強小於5*10-4帕之後，擴散泵的抽氣速度最小，幾乎（hū）沒有抽氣能力（此時（shí），進（jìn）氣口的壓強較高，由於空氣（qì）的密度較大，使（shǐ）蒸汽流形（xíng）成不了高速射流（liú）以阻擋空氣的反（fǎn）擴（kuò）散，所（suǒ）以抽速下降）。 

        擴散泵在安（ān）裝前要清洗，之後才可以裝入擴散油，油（yóu）在加熱前，必須要先對泵抽真空，停機前（qián）要先將（jiāng）擴散泵油冷卻（què）到60～70攝氏（shì）度，才可（kě）以關閉前級抽氣（qì），最後關冷卻水。 

       由於油擴散（sàn）泵是無法（fǎ）杜絕（jué）有返油的幾率，那麽沒有辦法保證精密（mì）產（chǎn）品的（de）100％純（chún）淨，特別是半導體行業，所以（yǐ）就有“高（gāo）真空冷凝泵＋低真空機械泵（bèng）”所組成（chéng）的無油真空係統，冷凝（níng）泵組成（chéng）的排氣係統（tǒng）不僅排氣效率極高，而且有效保證真空腔的清潔，保證產品的質量（避免產品（pǐn）被汙染、增強膜層與基板（bǎn）之間的附著力），但是其維護（hù）成本（běn）非常的高，造價昂貴，所以普及率沒有油擴散泵廣泛。 

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