真空鍍膜機的原理和各部件分析
作者: 來源: 日期:2022-08-17 15:00:52 人氣:1144
真空鍍膜機的原理(lǐ)和各部(bù)件分析
真空鍍膜機是目前製作真空條件應用最為廣泛的真空設備,一般(bān)用真空(kōng)室、真空機組、電氣控製(zhì)櫃三大部分組成,排(pái)氣係統(tǒng)采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。本公(gōng)司專業從事真空鍍膜設備的研發與生產擁有經驗豐(fēng)富的技術團隊及優質的售後服務隊伍為您解決(jué)設備在(zài)使用過程中遇到(dào)的任何(hé)問題。下麵,詳細介紹真空鍍膜機的各部分組成及其工作原理。
一、真空主體——真空腔根據加工產品要求的(de)各異,真空腔的大小也不一樣(yàng),目前應用多的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔體由不鏽鋼材料製作,要求不生鏽、堅實等,真空腔各部分有連(lián)接閥(fá),用來連接各抽氣泵(bèng)浦。
二、輔助抽氣係統(tǒng) :排氣係統(tǒng)為鍍膜機真(zhēn)空係統的重(chóng)要部分,主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三大部分組成。此排氣係統采(cǎi)用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫(wēn)冷阱+polycold”組成(chéng)。排氣流程為:機械泵先將真(zhēn)空腔(qiāng)抽至小於2.0*10-2PA左右的低真空狀態,為擴散泵後繼抽真空提供前提,之後當擴散泵抽真空腔(qiāng)的(de)時候,機械泵又(yòu)配合油擴散泵組(zǔ)成串聯,以這樣的方式完成抽氣動(dòng)作。
機械泵:也叫前級(jí)泵,機(jī)械泵是應用廣泛的一種低真(zhēn)空泵,它是用油來保持密封效果並依靠機械的方(fāng)法不(bú)斷的改變(biàn)泵內吸(xī)氣空腔的體積,使被抽容器內氣體的體積(jī)不斷(duàn)膨脹(zhàng)從而獲(huò)得真空。
1.機械泵(bèng)的分類:機械泵有很多種,常用的有滑閥式(shì)(此主要應(yīng)用於大型設備)、活(huó)塞往複式、定片式和旋片式(此目前(qián)應用最廣泛,本文主要介紹)四種類型。
2.機械泵是從大氣開(kāi)始工作(zuò)的,它的(de)主要參數有極(jí)限真空,抽氣(qì)速率,此為設計與選用機械泵的重要依據。單級泵可以將容器從大氣抽到1.0*10-1PA的極限真空,雙級機械泵可以將容器從大氣抽到6.7*10-2帕,甚至更高。抽氣速(sù)率(lǜ),是指旋片泵按額定轉數運轉時,單位時間內所能排出氣體的體積,可以用下公(gōng)式計算:Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸氣結束時空腔截麵積,L表示空腔長度,係數表示轉子每旋轉(zhuǎn)一周有兩次排氣過程,Vs表示當(dāng)轉子處於水平位置的時候(hòu),吸氣結束,此時空腔(qiāng)內的(de)體積大,轉速為n。機械泵排氣的效果還與電機的轉速及皮帶的鬆(sōng)緊(jǐn)度有關係,當電機的皮帶比較(jiào)鬆,電機轉速很慢的時候,機(jī)械泵的排氣效(xiào)果也會(huì)變差,所以要(yào)經常保養,點(diǎn)檢,機械泵油的密封效果也需要常常點檢,油(yóu)過(guò)少,達不到密封效果,泵內會漏氣,油過多,把吸氣孔堵塞,無法吸氣和(hé)排氣,一般,在油位在線下(xià)0.5厘米即可。
3.機械泵常常被用來抽除幹燥的空氣,但不能抽除含氧量過高、有爆炸(zhà)性和腐蝕性的氣體,機械泵一般被用來抽除永久性(xìng)的氣體,但是對(duì)水氣沒有好的效果,所以它不能(néng)抽除水氣(qì)。旋(xuán)片泵中起主要作用的部件是定子、轉子、彈片等,轉子在定子裏麵但與定子不同心(xīn)軸,象兩個內切圓,轉子槽內裝有(yǒu)兩(liǎng)片彈(dàn)片,兩(liǎng)彈片中間裝有彈簧,保證了彈片緊緊貼在定子的內壁。