真空蒸鍍、濺鍍(dù)、離子鍍
真空鍍主要包括真空蒸鍍、濺射鍍和離子(zǐ)鍍幾種類型,它們都是采用在(zài)真空條件下,通過蒸餾(liú)或濺射等方式在塑件表麵沉(chén)積各種金屬(shǔ)和非金屬薄膜,通過這樣的方式(shì)可以得到非常(cháng)薄的(de)表麵鍍層,同(tóng)時具有速度快附著力好的突出優點,但是價格也較高,可以進行操(cāo)作的金(jīn)屬類型較少,一般用來作較高檔產品的功能(néng)性鍍層。
真空蒸鍍法是在高(gāo)真空下(xià)為金屬加熱,使(shǐ)其(qí)熔融、蒸發,冷卻(què)後在樣品(pǐn)表麵形成金屬薄膜的方法,鍍層厚(hòu)度為0.8-1.2um。將成形品表麵的微小凹(āo)凸部分填平,以獲得如鏡麵一樣(yàng)的表麵,無任是為了(le)得到反射鏡作用而實施真(zhēn)空蒸鍍,還是對密(mì)接性較低的奪(duó)鋼(gāng)進行(háng)真(zhēn)空(kōng)蒸鍍時,都必須進行底(dǐ)麵塗布處理。
濺鍍通常指的是磁控濺鍍,屬(shǔ)於高速低溫濺鍍法。該工藝要求真空度在1×10-3Torr左右,即1.3×10-3Pa的真空(kōng)狀態充入惰性氣體(tǐ)氬氣(Ar),並(bìng)在塑膠基材(陽極)和金屬靶材(陰極)之間加上高壓直流電,由於輝光放電(glow discharge)產生的電子激(jī)發惰性氣體,產生等離子體(tǐ),等離子體將金屬(shǔ)靶材的原子(zǐ)轟出,沉積在塑膠基材(cái)上。一般金屬鍍膜(mó)大都(dōu)采用(yòng)直流濺鍍,而不導(dǎo)電的陶磁材料則使用RF交(jiāo)流濺鍍(dù)。
離子鍍是在(zài)真空條件下,利用氣體放電使氣體或(huò)被蒸發物質部分電(diàn)離,並在氣體離子或被蒸發物質離子的轟擊下,將蒸(zhēng)發物質或(huò)其反(fǎn)應物沉積在基(jī)片上的方法。其中包括磁控濺射離子鍍、反應離子鍍、空心陰極放電離子鍍(空心陰極蒸鍍法)、多(duō)弧離子鍍(陰極(jí)電弧離子鍍)等。