對於真空鍍膜機設備的分類,到底了(le)解多(duō)少?
真空鍍膜機主要指(zhǐ)一(yī)類需要在較高真空(kōng)度下進行的鍍膜設備,包括真空離子蒸發鍍(dù)膜機、磁控濺鍍膜機射、
MBE分子束外延鍍膜機(jī)和(hé)PLD激光濺射沉積鍍膜機等很多種(zhǒng)。
主要是分成蒸發和濺射兩(liǎng)種。
在真空鍍(dù)膜設備中需要鍍膜的被(bèi)成為基片,鍍的材料被(bèi)成為靶材。
基片與靶材同在真空腔中。
蒸發鍍(dù)膜一般是加熱靶材使(shǐ)表麵組(zǔ)分以原子團或離子形式被蒸發出來,並且沉(chén)降在基片表麵,通過(guò)成膜過程形成薄膜。
真空鍍膜(mó)機對於濺射類(lèi)鍍膜,可(kě)以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,並使表麵組分以原子(zǐ)團或離子形式被濺射出來,
並且最終沉積(jī)在基片表麵,經曆(lì)成膜過程,最終形成薄膜。爐體可選擇由不鏽鋼、碳鋼或它們的組合製成的雙層水冷(lěng)結構。
根據工藝要求選擇不同規格及類型(xíng)鍍膜設備,其類型有電阻蒸發真空(kōng)鍍膜(mó)設備、電子束(shù)蒸發真空鍍膜設備、
磁控濺射真空鍍膜設(shè)備、離子鍍真空鍍膜設備、磁控反應濺射真(zhēn)空鍍膜設備(bèi)、空心陰極離子(zǐ)鍍和多(duō)弧離子(zǐ)鍍等。
夾具運轉形式有自轉、公轉及公轉+自轉方式,用戶可根(gēn)據片(piàn)尺寸及形狀(zhuàng)提出相應要求,轉動(dòng)的速度(dù)範圍(wéi)及轉動精度:普通可(kě)調及變頻(pín)調速等。