質量流量計，即MASS FLOW METER(縮寫為MFM),是一種精確測量氣體流量的儀表，

其測量值不（bú）因溫度（dù）或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償。

質（zhì）量流量（liàng）控製器，即Mass flow controller(縮寫為（wéi）MFC），不但（dàn）具有質量流（liú）量計的功能，

更重要（yào）的是，它能自（zì）動控（kòng）製氣體流量，即用戶可根據需要進行流量設定，MFC自動（dòng）地將（jiāng）流量恒定在設定值上，

即使係統壓力有波動或環境溫度有變化，也不會（huì）使其偏離設定值。

簡單地說（shuō），質量流量控製器就是一個穩定裝置（zhì），是一個可以手動設定或與計算機聯接自（zì）動控製的（de）氣體穩流裝置。