微信掃（sǎo）一掃 關注草莓视频CAOMEI888最新動態！等離子（plasma）是除固體、液體、氣體之外的第四種物質狀態，主要是由（yóu）氣（qì）體在高電磁場作用下發生解離，形（xíng）成一種包括電子（帶負電），正離子（帶正（zhèng）電），自由基和中性氣體分子組（zǔ）成的高活性物質，通產情況下會發光。
一般情況下，等離子中的正電荷數等於負電荷數，所以整（zhěng）體呈電中性（Quasi-neutral）。日常生活中見（jiàn）到的閃電、日光燈、霓虹（hóng）燈就是等離子體發光現象。
等離子的產生有很多種方法，但生成和維持（chí）都需要外部能量的（de）輸入。
電子從外加電磁場獲得能量，然後發生非彈性碰（pèng）撞產生（shēng）激發（excitation）、解離（lí）吸附（dissociative attachment）、解離（dissociation）、離子化（ionization）、在結合（recombination）反應，由此產生二次電子、原子、分子、離子等物質，然而在解離碰撞（zhuàng）中，電子可能與氣體離子（zǐ）有再結（jié）合作用（yòng），或者因為漂移及擴散而離開電磁場範圍等原因消失，因此當（dāng）電子產生與消失的速率相等時，此時的plasma即為穩定狀態。這裏列（liè）舉四（sì）種ETCH常用產生plasma的方法，後麵會詳解介紹。
三、等離子（zǐ）體的參數 plasma parameters
平均自由路徑（Mean Free Path，MFP）：
粒子與粒（lì）子碰撞前能夠移（yí）動的平均距離。MFP與環境壓力P呈反比，壓力越高，MFP越短，壓力約低，MFP越（yuè）長，這（zhè）就是為什麽plasma產生要在低壓近似真空環境下產生，因為在（zài）大氣壓力下（760Torr），電子的MFP很短，很難獲得足夠的能力（lì）來使用氣體離子化。