真(zhēn)空電鍍設備膜厚的不均勻問題
作者: 來源: 日期(qī):2017-10-25 16:07:52 人氣(qì):4512
無論監控儀精度怎樣,它也隻能控(kòng)製真空(kōng)室裏單點位置的膜厚,一般來講是工件架(jià)的中間位置(zhì)。如果真空電鍍設備此位置的膜厚不是絕對均勻的,那麽遠離(lí)中心位置的基片就無法得到均(jun1)勻的(de)厚度。雖然屏蔽罩能消除表現為長期的不均勻性,但(dàn)有些膜厚度的變化是(shì)由蒸發源的不穩定或膜材的(de)不同表現而(ér)引起的,所以幾乎是不可能消除的,但對(duì)真空室的(de)結構和蒸(zhēng)發源的恰當選(xuǎn)擇可以使(shǐ)這些影響最小化。
在過去幾年中,越來越多的用戶要求鍍膜係統製造廠家提供高性能的小規格、簡便型光學鍍膜係統(tǒng),同時(shí),用戶對(duì)性能的要求不僅沒(méi)有降低,反而有所提高,特別是在薄膜密度和保證吸水後光譜變化最小化等方麵。
現在,係統的平均(jun1)尺寸(cùn)規格已經在降低,而(ér)應用小規格設備進行光學鍍膜的生產也已經轉變成為純技術(shù)問題。因此,選用現代化光學鍍膜係統的關鍵取決(jué)於對以下因素的(de)認真考(kǎo)慮:對鍍膜(mó)產品的預期性能,基片的(de)尺寸大小和物理特性以及保證高度一致性工藝所必(bì)需的所有技術因素。