1、真（zhēn）空鍍膜設備每完成200個鍍膜（mó）程序以上，應清潔工（gōng）作（zuò）室一次（cì）。方法是:用燒堿（jiǎn）(NaOH)飽和溶液反複擦洗真空室內壁，( 注意（yì）人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液，以免灼傷)目的是使鍍（dù）上去的膜料鋁(AL)與NaOH發生反（fǎn）應，反應後膜層脫落，並釋放（fàng）出氫氣。再用（yòng）清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內的汙垢。
2、當粗抽泵(滑（huá）閥泵，旋片泵)連（lián）續工作一個月(雨季減半（bàn）)，需更換新油。方（fāng）法是:擰開（kāi）放油螺栓，放掉舊油，再將泵啟動數秒，使泵內的舊油完全排（pái）放出來。擰回放油螺栓，加入新油至額定量(油視（shì）鏡觀察)。連續使用半年以上，換油時應將油蓋打開，用布擦幹淨箱內汙垢。
3、擴散泵連續使用6個月以上，抽速明顯變慢，或操作失當，充入大氣，拆去聯結水管，卸下（xià）電（diàn）爐盤，將一級噴嘴（zuǐ）擰出，先用汽油將泵（bèng）腔及泵膽清洗一遍，再用洗衣粉兌水清洗一遍，然後用清水徹底清洗幹淨，待（dài）水份揮發幹（gàn）以後，裝好（hǎo）泵膽，加（jiā）入新擴（kuò）散泵（bèng）油（yóu），並裝回機體，接好水管，裝好電爐盤，便可以（yǐ）重新開機。在重新開機前，要注意檢漏工作。方法是（shì）:啟動維持泵，關好大門，數分鍾後，觀察擴散泵部分真空（kōng）度是否達到6X10帕，否則要進行檢漏。檢（jiǎn）查聯接處是否裝密封膠（jiāo）圈，或壓壞密封圈。排除漏氣隱（yǐn）患後方可加（jiā）熱，否則擴散（sàn）泵油會燒環，無法進入工作狀態。

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