真空鍍膜機（jī）主要指（zhǐ）一類需要在較高真空度下進行的鍍（dù）膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發，磁（cí）控濺射，MBE分子（zǐ）束外延（yán），PLD激光濺射沉積等（děng）很多種。主要思路（lù）是分成蒸發和濺（jiàn）射兩種。真空鍍膜機是目前製作（zuò）真空條件應用最為廣泛的設備，對其操作程序的了解是至關重要的環節，在（zài）真（zhēn）空鍍（dù）膜機的具體操作過程中建議參照以下標注說（shuō）明：

        一、 檢查真空鍍膜機各操（cāo）作（zuò）控製開關是（shì）否在（zài）"關（guān）"位置（zhì）。

        二、打開總電源開關，設備送電。

        三、低壓閥拉出（chū）。開充氣閥，聽不到氣流聲後，啟動升鍾罩閥，鍾罩升起。

        四、安裝固定（dìng）鎢螺旋加熱子。把PVDF薄膜和鋁蓋板固定在轉（zhuǎn）動圓盤上。把鋁絲穿放在螺旋加熱子內。清理（lǐ）鍾罩內各部位，保證無任何雜質汙（wū）物。

        五、落下鍾罩。

        六、啟動抽真空機械泵。

        七、開複合真空計電源（yuán）(複合真（zhēn）空（kōng）計型（xíng）號:Fzh-1A)。

               1）左旋鈕"1"順時針（zhēn）旋轉至指向2區段的（de）加熱位置。

               2）低真空表"2"內指針順時針移動，當指針移動至110mA時，左（zuǒ）旋鈕"1"旋轉至指向2區段測量位置。

        八、當低真空表"2"內指針（zhēn）再次順（shùn）時針（zhēn）移動至6.7Pa時，低壓閥推入。這時左旋鈕"1"旋轉至指向（xiàng）1區段測量（liàng）位置。

        九、 真空鍍膜機開（kāi）通（tōng）冷卻水，啟動擴散泵，加（jiā）熱40min。

        十、低壓閥拉（lā）出。重（chóng）複（fù）一次⑦動作（zuò）程序:左下（xià）旋鈕"1"轉至指（zhǐ）向2區段測量位置。低（dī）真空表"2"內指針順時針移動，當指針移動至6.7Pa時，開高壓閥(閥（fá）杆順時針旋轉)。

        十一、等（děng）低真空表"2"內指針右移動至0.1Pa時，開規（guī）管燈絲開關。

                1）發射、零點測量鈕"9"旋轉至指向發射位置。

                2）左下旋鈕"1"旋轉至指向1區段測量位置。

        十二、 旋轉發射調節鈕（niǔ）"4"，使高壓真（zhēn）空表"5"內指針指（zhǐ）向5。

        十（shí）三、 發射、零點、測量旋鈕"9"旋轉至指向零點位置。

        十四、旋轉（zhuǎn）零點調節鈕（niǔ）"10"，讓高（gāo）壓真空表（biǎo）"5"內指針指向0位置。

        十五（wǔ）、 發射、零點、測量旋鈕"9"旋轉至指向測量（liàng）位（wèi）置（zhì）。

        十六、旋轉（zhuǎn）標準調節鈕"3"，讓（ràng）高（gāo）壓真空表"5"內指針指向10。

        十七、旋轉"倍加器"開關鈕"8"至指向10-12，當高（gāo）壓真空表"5"內指針（zhēn）逆時針左移超過1時，再把"倍（bèi）加器"開關旋鈕"8"旋（xuán）轉至指向10-3。

        十八、當高壓真空表"5"內（nèi）指針逆時針移動超過6.7Pa時，開工件旋轉（zhuǎn）鈕開關，鍾罩內被鍍件PVDF膜轉動。

        十九、開蒸發鈕開關。把（bǎ）電流分（fèn）插塞插入蒸發電（diàn）極分配孔內（nèi）(設有1、 2、 3、 4孔，可插入任（rèn）意一孔)。

        二十、 右手旋轉右側調壓器手輪，慢慢旋轉升壓。

                  1）從視鏡窗口（kǒu）觀察鎢螺旋加熱子的加熱溫度顏色變化情況。

                  2）當鎢螺旋加（jiā）熱子顏色變成黃橙色，鋁絲開始熔化時，左手操作擋板鈕，移開鎢螺旋上方擋板（bǎn）。

                  3）鋁絲全部熔化蒸發，擋板回原（yuán）位。

                  4）右手旋轉調壓器手輪回零（líng）位。第（dì）一次蒸鍍工作完成。

        二十一、 如果再想蒸鍍一次(為了增加電極金屬層厚度):把電流（liú）分插塞撥出（chū）插入另一（yī）個電極分配孔（kǒng）。重複⑳操作動作。

        二十二、 關閉規管燈絲開關。關閉高壓閥(逆時針轉手柄)。關閉工件旋轉。關閉蒸發。旋轉機（jī）械泵鈕至指向擴散泵位置。

        二十三、 低壓（yā）閥拉出。鍾罩充氣。充（chōng）氣一段時間，當沒有氣.聲（shēng）時，升鍾罩。

        二十四、鎢（wū）螺旋加熱子內加（jiā）鋁絲。PVDF薄膜調換另一麵（miàn）向下 (原（yuán）下麵已鍍一層鋁膜麵向（xiàng）上)。緊固在轉動圓盤上。

        二十五（wǔ）、 落鍾罩。開機械泵（bèng）。

                    1） 左下旋（xuán）鈕"1"旋（xuán）轉至（zhì）指向2區段測量位置 。

                    2）當低壓真空表"2"內指針順時針移動到6.7Pa時，低壓（yā）閥推入。

                    3） 左下旋鈕"1"旋（xuán）轉至指（zhǐ）向1區（qū）段測量（liàng）位置（zhì）。

                    4）當低壓真空表"2"內指針順時針移動（dòng）到6.7Pa時，開高（gāo）壓閥。旋鈕"1"旋轉至（zhì）指向2區段測量位置。

                    5）當低壓真空表"2"內指針順時針移動到指向0.1Pa時，開規（guī）管燈絲。

                    6）由⑰開始重複（fù）操作至⑳ 。

        二十六、 正常生產中，如（rú）遇到突（tū）然停電（diàn）時，要立即切斷高真空測量，關閉規管燈（dēng）絲，高壓閥、低壓閥拉出（chū）。來電後，先讓機（jī）械泵啟動工作3~5min後，再轉入正（zhèng）常生產。