真空鍍膜機一（yī）般泛指物理氣相沉積技術；鍍膜機則包括物理氣相沉積（jī）和化學（xué）氣相（xiàng）沉積，以及化學等離子氣相沉積，範（fàn）圍比較廣。冷水機根據冷凝器的不同，有（yǒu）風冷式冷（lěng）水機和水（shuǐ）冷式冷水機。根據溫度的（de）不同，有低溫冷（lěng）水機（零下50度以內都（dōu）可），螺杆式冷凍機，大型冷凍機（jī）組等。鍍膜冷水機，需要注意（yì）根據客戶要求的水壓來給（gěi）客（kè）戶選擇（zé）冷水機型號（hào），有激光鍍膜冷水機，真空鍍膜冷凍機，鍍膜（mó）機專用冷水機。
    真空鍍膜機冷（lěng）水機有水冷式、風冷式兩種，水冷式製冷效果較好，但需要冷卻水，風冷式靈活方便，無需冷卻水，適合缺水地區（qū）或需移動場合使用（yòng）。奧德機械（xiè）新近推出（chū）ACH型冰熱兩用機，在低（dī）溫高（gāo）精度控溫領域有著廣泛的用途。

    真空鍍膜機的特點：
    一、配備:
    1、壓縮機:日本三洋（yáng）壓縮機超高（gāo）能效，低噪音，安全（quán）可靠；
    2、泵浦:LG、源立大流量冷凍機專用渦流（liú）水泵,不堵塞起動扭矩大；
    3、電腦PC板，觸摸式控製，安全方便；
    4、溫控器:進口液晶顯示溫控電（diàn）子板；
    5、美國進口ALCO膨脹閥、過濾器；
    6、內（nèi）置外覆絕熱材料的304不鏽鋼水箱（xiāng）1個；
    7、韓（hán）國LG電器；
    8、安全保護係統
    
    1、壓縮機延時起動保護（hù）◎冰水泵過載及指示燈
    2、壓縮（suō）機過載保（bǎo）護
    3、馬達反轉保（bǎo）護及指（zhǐ）示燈4、壓縮機過載（zǎi）保（bǎo）護及指示燈
    4、冷媒（méi）不足保護及指示燈
    5、冷媒高壓安全（quán）閥◎散熱不良保護及指示燈

    產品技術特點（diǎn）：
    1、真空腔室的模塊化設計和加（jiā）工。通過此項技術提高了（le）腔室設計和加工效率，提高（gāo）了重大部件的（de）加工質量和互換性，縮短了整條線的（de）交貨周期。
    2、使（shǐ）用高（gāo）性能旋轉陰極和中（zhōng）頻電（diàn）源，最大蒸發電流達到400A，大大提高生產效（xiào）率及膜層性能（néng）；
    3、通過（guò）輔助（zhù）5段供氣（qì），提高真空環境工藝氣體分布均勻性，提高（gāo）膜層質量；
    4、安裝整（zhěng）體（tǐ）式模塊化陰極屏蔽擋板，大大減少維修時間，降低維修成（chéng）本。
    5、陰（yīn）極采用隔離冷卻裝置，改變以往陰極磁鋼（gāng）因工作（zuò）在循環水中不斷吸附雜質而影響磁場（chǎng）強度和壽命。新方法使磁鋼工作（zuò）在真空環境，大大提高了陰極穩定性和壽命。
    6、采用自主研（yán）發的傾斜式磁鋼矩陣排列，擴大了陰極靶材表麵氣隙場（chǎng）範（fàn）圍（wéi），增大了靶材被刻蝕濺射的麵積，提高靶材的利用率和均勻性。表麵氣隙場水平分量均勻性在（zài）±2%以內。
    7、使用自主研發的三維空（kōng）間（jiān）磁場測（cè）量分析係統，係統（tǒng）用於測量磁鋼陣列的空（kōng）間氣（qì）隙場分（fèn）布及磁鋼安裝、調整，為陰極研發提供有（yǒu）效的技術手段。
    8、觸摸（mō）屏+PLC，可（kě）以實現電（diàn）腦全自動控製，自動手動（dòng）隨（suí）時切換。
    9、同時配備先進的圓（yuán）柱磁控濺射裝置和高效的電阻加熱蒸發裝置，將磁（cí）控濺射技術和（hé）加熱蒸發技術的（de）有效結合（hé），使設備的適用範圍更廣，可得到多種不同性能的膜層；
    10、獨特的雙門（室）結構，使工件及鍍料的裝卸與鍍膜可同時進行，大大提高工作效率。</p>

下一個：磁控濺射膜常見故障的排除