為盡量減小真空鍍（dù）膜機真空室形變帶來的影響，我們將導軌（guǐ）、絲杆等傳動件固定於一個剛性的中（zhōng）間層上，其與真空（kōng）室底壁之間采用點、線、麵活（huó）性支撐，以吸收和（hé）隔離形變，並設（shè）置形變補償調節（jiē）機構（gòu），在係統（tǒng）抽真空前，參照有限元計算（suàn）提供（gòng）的理論數據預設適當的補償量（liàng），以使其（qí）在真空狀態下達到平衡。而這樣的真空設計也使得現在的真空鍍（dù）膜機就能夠讓鍍膜在真空環境下正常進行，防止外界因（yīn）素的影響。
    而為了驗證有限元（yuán）計算的結果，對真空室（shì）的形變和補償進行了測（cè）試。首先將四隻千分表定位在工作台（tái）安（ān）裝（zhuāng）基點的真空壁外側，當真空室由（yóu）大氣抽到真空時，記錄各千分表的變化量，經歸一化（huà）處理後為用激光自準直儀調整形變（biàn）補償。由水平（píng）調整的自準直（zhí）儀發出（chū）一束激光穿過真空室的玻璃窗照射固定於工作（zuò）台上的反射（shè）鏡，在大氣環境下調整形變補償調節機構，使反射光束進入自準直儀接收視場，記錄兩維角度偏差。這些數據之後需要對其進行分析處理，得到測試結果。

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