1)、固定筒3 圓筒(tǒng)形狀、大直徑、厚壁結構的設計和周向對稱的固定方式,可保證其有足夠的(de)強度和剛度,同時,還可阻止高溫濺射磨料對其內部零部件汙染,保證撥動盤15 轉動的靈活性(xìng)。
2)、圓形軸承座2 的設計,保證軸承座安裝的密封性和垂直度;增大軸1 的直徑尺(chǐ)寸,加大軸承座2 中(zhōng)兩軸承的安裝間距,提高其自身的強度和(hé)剛度,保證轉動(dòng)過程中軸1 的(de)剛度和(hé)撥動盤15的旋轉靈(líng)活性、位置重複的一(yī)致性。
3)、裝載換位機構(gòu),通過擴大支承盤16 的直徑,使該機構(gòu)在平麵方向的有效麵積增大,可安裝直徑大(Φ26.5mm)的比較片,有利於光路調整,提高光學薄膜質量(liàng);比較片12 由單片玻(bō)璃作為一個比較片單元,比較片采用空間立體疊加(jiā)安裝方式,多片玻璃疊加安(ān)裝在一個比較片存儲筒13 內,實現一次可放置(zhì)50~100 片(piàn)比較片,解決
鍍膜機鍍製多層精密光學薄膜,比較片數(shù)量少影響鍍膜層數和精度的問題。
4)、定位盤6 與槽型光藕(ǒu)17 的配合,通過槽型光藕來感知定位盤上三個均分的120°狹縫,控製電機轉(zhuǎn)動停止。軸1 旋(xuán)轉(zhuǎn)定(dìng)位重複的一致性(xìng)得到保證,帶動撥動盤15 完成準確的撥片動作。
5)、 轉動密封饋入機構引入威爾遜(xùn)密封機構5,既保證電機(jī)9 通過齒(chǐ)輪齧合帶動軸1 的靈活轉動,又保證真空(kōng)室對外部(bù)的密封作(zuò)用(yòng)。優化(huà)設計的真空鍍膜機多片式比較片裝置,其特點:(1)結構簡單,強(qiáng)度高,可靠性好(hǎo);(2)比較片裝載數量大(dà),生產效率提高,可鍍製超多層精密光學薄膜;(3)比較片直徑增大,提高薄膜監控的精度,降低對硬件(jiàn)係統(tǒng)的要求,係統容易實現自動控製;(4)維護保養費用低。
通(tōng)過對真空鍍膜機多片式比較片裝置(zhì)的優化設計,保證了比較片(piàn)機構撥片轉動的靈活性和重複的一致性,解(jiě)決了比較片有效麵積小,光路調整不方便,光信號信噪比差的問題(tí),又(yòu)解決了比較(jiào)片裝載(zǎi)數(shù)量少(shǎo)的問題,可以使現有的真(zhēn)空鍍膜機鍍(dù)製光學薄膜的質量大大提高,並且30 層以上(shàng)的光學薄膜得以鍍製完成。實踐證明此比較片結構是有用的,可以在現代的光學真空鍍膜行業進行推廣和(hé)實施,