SF係列電子束蒸發光學真空鍍膜機

日期:2016-01-13 10:14:16 人氣:23663
SF係列電子束蒸發光學真空鍍膜機

工作原理

電子束蒸發是將膜材放入水冷銅坩堝中,直接利用電子束加熱,使膜材中的原子或分子從表麵汽化逸出後入射到基片表麵凝結成(chéng)膜。電子束蒸(zhēng)發比一般電阻加熱蒸發熱效率高、束流密度大、蒸發速度快,製成的(de)薄膜純度高。

應(yīng)用範圍

光學鍍膜設備可鍍製層數較(jiào)多的短波通、長(zhǎng)波通、增(zēng)透(tòu)膜、反射膜、濾光膜、分光膜、帶通膜、介質(zhì)膜、高反膜、彩色反射膜等各種膜(mó)係,能夠實現0-50層膜的膜係鍍膜,也能滿足如汽車反光玻(bō)璃、、眼(yǎn)鏡片、光學鏡(jìng)頭、冷光杯等產品的鍍(dù)膜要求(qiú)。配置不同的蒸發(fā)源、電子槍和離子源及膜厚儀可鍍多種膜係,對金屬、氧化物(wù)、化合物及其他高熔點(diǎn)膜材皆可蒸鍍

產品特點

1)  光學鍍膜配備有石(shí)英(yīng)晶體膜厚儀(yí),采用PLC與觸摸(mō)屏係統聯合實現(xiàn)對整個工作過程的自(zì)動控製,工作效率和產品質量重複性一致(zhì)性優良.
2)適用於光學領域行業(yè),大規(guī)模工業生產要求的廠商使用。

技術參數表

SF係列電子束蒸發光(guāng)學真空鍍膜(mó)機    
型號SF-800SF-1200SF-1400SF-1600SFW-1000SFW-1200SFW-1600
真空室尺寸 Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真空機組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組雙KT630擴(kuò)散泵機組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙(shuāng)KT630擴散泵機(jī)組
鍍膜係統(tǒng)電(diàn)子槍蒸發源、鍍膜輔助離子專用電源或霍爾離子源
充氣係統壓強控製儀
控製方式手動或半自動
膜厚監控係統石英晶(jīng)體膜厚監控係統
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
備注以上設(shè)備參(cān)數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求(qiú)設計(jì)訂做(zuò)
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