SF係列電子束蒸發光學真空鍍膜機

日(rì)期:2016-01-13 10:14:16 人氣:23656
SF係列電子束蒸發(fā)光學真空鍍(dù)膜機

工作原理

電子束蒸發是將膜材放入水冷銅(tóng)坩堝中,直接利用電子束加(jiā)熱,使膜材中的原子或分子從表麵汽化逸出後入(rù)射到基片表麵凝結成膜。電子束蒸發比一般電阻加熱蒸發熱效率高、束流密度大、蒸發速度快,製成(chéng)的薄膜純(chún)度高。

應用範圍

光學鍍膜設備可鍍製層(céng)數(shù)較多的短波通、長波通、增透膜、反射膜、濾光(guāng)膜、分光膜、帶通膜、介質膜、高反膜、彩色反射膜等各種(zhǒng)膜係,能夠實現0-50層膜的膜係鍍膜,也能滿足如汽車反光玻璃、、眼鏡片、光學鏡頭、冷光杯等產品的鍍膜要求。配置不同的蒸發源、電子槍和離子源及膜(mó)厚儀可鍍多種膜(mó)係,對金(jīn)屬、氧化物、化合(hé)物及其他高熔點膜材皆可蒸鍍

產品特點

1)  光學鍍膜配備有(yǒu)石英晶體膜厚(hòu)儀,采用PLC與觸摸屏係統聯合(hé)實現(xiàn)對整個工作過程的(de)自動控製(zhì),工作效率和產(chǎn)品質量重複性一致性優良.
2)適用(yòng)於光學領域行業,大規模(mó)工(gōng)業生產要求(qiú)的廠商使(shǐ)用。

技術(shù)參數表

SF係列(liè)電子束蒸(zhēng)發光學真空鍍膜機    
型號SF-800SF-1200SF-1400SF-1600SFW-1000SFW-1200SFW-1600
真空室尺寸 Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真空機組KT500擴散泵機(jī)組KT630擴(kuò)散泵機組雙KT630擴(kuò)散泵機組雙KT630擴散泵機(jī)組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組
鍍膜(mó)係統電子槍蒸發源、鍍膜輔助離子專用電源(yuán)或霍爾離子(zǐ)源
充氣係統壓強控製儀
控製方(fāng)式(shì)手動或半自動
膜厚監控係統石英(yīng)晶體膜厚監控係統
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
備注(zhù)以上設備參數僅做(zuò)參考,具體均按(àn)客戶實際工藝要(yào)求設計訂做
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