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如何(hé)掌控真空鍍膜的均(jun1)勻性

作者: 來源(yuán): 日期:2023-04-10 14:44:49 人氣:1847
如何掌控真空鍍膜的均勻性
我們先來認(rèn)識下怎麽調試鍍膜機,因為掌握調試(shì)鍍膜機是使用鍍膜機的關鍵怎麽調(diào)試(shì)鍍膜(mó)機
1、測試(shì)設備的抽真空速度,在測試(shì)過程中檢查漏氣情況(kuàng)與各真空泵的性能;
2、測試設備(bèi)的密(mì)封性能,就是抽到極限後保壓1小時看壓降是否達標,同時排除細小的漏孔;
3、產品試作,檢驗(yàn)其他的性能,比(bǐ)如(rú)傳動、加熱、絕緣等等(děng);
4、如果有工藝保證(zhèng)的話就繼(jì)續打樣並作測試。
5、所有的測試(shì)應作記(jì)錄,並有記錄(lù)人簽(qiān)字以及有使用部門或工程部門的人確(què)認簽字

怎麽掌控真(zhēn)空鍍膜的均勻性?
由(yóu)於車燈鍍膜機(jī)原理的不同(tóng)分為很多種類,僅僅因為都需要高真空度而擁有(yǒu)統一名稱。所以對於不同(tóng)原理的真(zhēn)空鍍膜,影響均勻性的因素也不盡(jìn)相同。並且均勻性這個概(gài)念本身也會隨著鍍膜尺度和薄膜成分而有著不同的意義,下麵(miàn)分別說一下:

均勻(yún)性主要體(tǐ)現在3方麵:

1、厚度上(shàng)的(de)均勻性,也可以理解為粗糙度,在(zài)光學薄膜的尺度上看(也就是1/10波長作為單位,約為(wéi)100A),真空鍍(dù)膜的均勻(yún)性(xìng)已經相當好,可以輕(qīng)鬆將粗(cū)糙度控製在可見光波長的1/10範圍內,也就是說對於多弧離子鍍膜機的光學特性來說,真空(kōng)鍍膜沒有任何障礙。但是如果是指原子層尺度上的(de)均勻度,也就是說要實現10A甚至1A的表麵平整,是(shì)現在真空鍍膜中主要的技術含量與技術瓶頸所(suǒ)在。
2、化學組分上的均勻性:就是說在薄膜中,化合(hé)物的原子組分(fèn)會由於尺度過小(xiǎo)而很(hěn)容易的產生不均勻特性(xìng),SiTiO3薄膜,如果濺控濺射鍍膜機過程不(bú)科學,那麽實際表麵的組分並不是SiTiO3,而可能是(shì)其他的比例,鍍(dù)的膜並非是想要的(de)膜的化學成分,這也是真空鍍膜的技術含量所在。
3、晶格有序度的均(jun1)勻性:這決定了薄膜是單晶,多晶,非(fēi)晶,是真空鍍膜技術中的熱點問題。 
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