GSF係列高精密電子束蒸發光學真空鍍膜機
日期:2016-01-13 10:18:51 人氣:24925
GSF高精密電子束蒸發光學真空鍍膜機的工作原理(lǐ)是將膜材放入水冷銅坩堝中,直(zhí)接利用電子束(shù)加熱,使膜材中的原子或分子從表麵汽化逸出後入射(shè)到基片表麵凝結成膜。電子束蒸發(fā)比一般電阻加熱蒸發熱效率高(gāo)、束流密度大、蒸(zhēng)發速度快,製成的薄膜純度高。
光學鍍膜設備可鍍製層數較多的短(duǎn)波通、長波通、增透膜、反(fǎn)射膜、濾(lǜ)光膜、分光膜、帶通膜、介質膜、高反膜(mó)、彩(cǎi)色反射膜等(děng)各種膜係,能夠實現0-90層膜的膜係鍍膜(mó),也能滿足如汽車反光玻璃、望遠鏡、眼鏡片、光學鏡頭、冷光(guāng)杯等產品的鍍膜要求。配置不同的蒸發源、電子槍和(hé)離子源及膜厚儀可鍍多種膜係,對金屬、氧化(huà)物、化合物及其他高熔點膜材皆可蒸鍍。
1)、高精(jīng)密光學鍍膜機配備有石英(yīng)晶體(tǐ)膜厚儀、光學膜厚自動控製係統,采(cǎi)用PLC與工業電腦配合自主研發的(de)PY3100係統聯合實現對整個(gè)工(gōng)作(zuò)過程的全自動控製,可以實(shí)現無人值守,從而提高了工作(zuò)效率和保證產品質(zhì)量的(de)一致(zhì)性和穩定性。
2)、大抽速真空係統加配深冷裝置,優秀的動態真空能力,為複雜的(de)光學膜係製備提(tí)供了必要的真空條(tiáo)件保障。
3)、蒸發分布穩定、性能(néng)可靠的E型電子槍,優化設計的蒸發源與工件架之間的位置關係(xì),為精密膜係的實現調工了膜料蒸(zhēng)發分布方麵的保障。
4)、平穩而高速旋轉的工(gōng)件架(jià)轉動係統,使工件架內外圈產品光(guāng)譜(pǔ)曲線(xiàn)更趨於一致(zhì)。
5)、適用於光學領域行業,大規模工業生產高端要求的廠商使用。
GSF高精密電子束蒸(zhēng)發光學真空鍍膜機 |
型號 | GSF-800 | GSF-1200 | GSF-1400 | GSF-1600 | GSFW-1000 | GSFW-1200 | GSFW-1600 |
真空室尺寸 | Φ800×1000MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1000×1100MM | Φ1200×1400MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 |
鍍膜係統 | 電子槍蒸(zhēng)發(fā)源、鍍膜輔助離子專用電源或霍爾離(lí)子源 |
充氣係統 | 壓強(qiáng)控(kòng)製儀 |
控製方式 | 半自動或全(quán)自動 |
膜厚(hòu)監控係統 | 石英(yīng)晶體(tǐ)膜厚監控係統、光學膜厚監控係統 |
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空(kōng) | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
備注 | 以上(shàng)設備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂做 |