GSF係列高精密電子束蒸發光學真空鍍膜機

日期:2016-01-13 10:18:51 人氣:24925
GSF係列高精密電子束蒸發光學真空鍍膜機

工作原理

GSF高精密電子束蒸發光學真空鍍膜機的工作原理(lǐ)是將膜材放入水冷銅坩堝中,直(zhí)接利用電子束(shù)加熱,使膜材中的原子或分子從表麵汽化逸出後入射(shè)到基片表麵凝結成膜。電子束蒸發(fā)比一般電阻加熱蒸發熱效率高(gāo)、束流密度大、蒸(zhēng)發速度快,製成的薄膜純度高。

應用範圍

光學鍍膜設備可鍍製層數較多的短(duǎn)波通、長波通、增透膜、反(fǎn)射膜、濾(lǜ)光膜、分光膜、帶通膜、介質膜、高反膜(mó)、彩(cǎi)色反射膜等(děng)各種膜係,能夠實現0-90層膜的膜係鍍膜(mó),也能滿足如汽車反光玻璃、望遠鏡、眼鏡片、光學鏡頭、冷光(guāng)杯等產品的鍍膜要求。配置不同的蒸發源、電子槍和(hé)離子源及膜厚儀可鍍多種膜係,對金屬、氧化(huà)物、化合物及其他高熔點膜材皆可蒸鍍。

產品特點

1)、高精(jīng)密光學鍍膜機配備有石英(yīng)晶體(tǐ)膜厚儀、光學膜厚自動控製係統,采(cǎi)用PLC與工業電腦配合自主研發的(de)PY3100係統聯合實現對整個(gè)工(gōng)作(zuò)過程的全自動控製,可以實(shí)現無人值守,從而提高了工作(zuò)效率和保證產品質(zhì)量的(de)一致(zhì)性和穩定性。
2)、大抽速真空係統加配深冷裝置,優秀的動態真空能力,為複雜的(de)光學膜係製備提(tí)供了必要的真空條(tiáo)件保障。
3)、蒸發分布穩定、性能(néng)可靠的E型電子槍,優化設計的蒸發源與工件架之間的位置關係(xì),為精密膜係的實現調工了膜料蒸(zhēng)發分布方麵的保障。
4)、平穩而高速旋轉的工(gōng)件架(jià)轉動係統,使工件架內外圈產品光(guāng)譜(pǔ)曲線(xiàn)更趨於一致(zhì)。
5)、適用於光學領域行業,大規模工業生產高端要求的廠商使用。

技(jì)術參數表

GSF高精密電子束蒸(zhēng)發光學真空鍍膜機
型號GSF-800GSF-1200GSF-1400GSF-1600GSFW-1000GSFW-1200GSFW-1600
真空室尺寸 Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真空機組KT400擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組
鍍膜係統電子槍蒸(zhēng)發(fā)源、鍍膜輔助離子專用電源或霍爾離(lí)子源
充氣係統壓強(qiáng)控(kòng)製儀
控製方式半自動或全(quán)自動
膜厚(hòu)監控係統石英(yīng)晶體(tǐ)膜厚監控係統、光學膜厚監控係統
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空(kōng)3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
備注以上(shàng)設備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂做
友情(qíng)鏈(liàn)接: 三菱伺服電機(jī)  鐵(tiě)件鍍錫  粉塵檢測儀  鋼筋桁架樓承板  環氧自流平(píng)施工(gōng)  紅木家具  法蘭盤  水穩攪拌(bàn)站  端子截麵分析儀  鈹銅板 
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