CJ係列磁控濺射真空鍍膜機
日期:2016-01-16 13:28:37 人氣:73054
CJ係列磁控濺射真空(kōng)鍍膜機的磁控濺射工作原(yuán)理,所謂“濺射”就(jiù)是用荷能(néng)粒子(通常用(yòng)氣體正離子)轟擊物體,從(cóng)而引起物體表麵原子從母體(tǐ)中逸出的現象。早在1842年Grove在實驗室中就發現了這種現象(xiàng)。磁控濺射靶采(cǎi)用靜止電磁(cí)場,磁場為曲線形,均勻電場和對數電場則分別用於平麵(miàn)靶和同軸圓柱靶。電子在(zài)電場作用(yòng)下,加速飛向基片的過程中與氬原子發(fā)生碰撞。若(ruò)電子具有足夠的能量(約為30ev)時(shí),則電離出Ar+並產生電子,電(diàn)子飛向基片,Ar+在電場作用下,加速飛向陰極(濺射靶)並以高能(néng)量轟擊靶(bǎ)表麵,使靶材發生濺射。
廣泛應用於家電電器、鍾表、高爾(ěr)夫球頭、工藝美術品、玩具、車燈反光罩、手機按鍵外殼以及儀器儀表、塑料、玻(bō)璃、陶瓷、磁磚等表麵裝飾性鍍膜及工模具的功能塗層,在鍍製超黑膜(mó)、純金裝飾膜、導電膜等領域有優勢。
1)、膜厚可控(kòng)性和重複性好(hǎo)。能夠可靠的鍍製預定厚度的薄膜,並且濺射鍍膜(mó)可以在(zài)較大的表麵上獲得厚度均(jun1)勻的膜層;
2)、薄膜與基(jī)片的(de)附著力強。部分高能量的濺射(shè)原子產生不同程(chéng)度的注入現象,在基(jī)片上形成一層濺射原(yuán)子與基片原子相互溶(róng)合的偽擴散層;
3)、製備特殊材料的(de)薄膜,可以使用不(bú)同的材料同時濺射製備混合膜、化合膜,還可濺射成TiN仿金膜;
4)、膜層(céng)純度高,濺射膜層中不會混入坩鍋加熱器材料的成份。
5 )、裝(zhuāng)備低溫離子輔助源,無需加熱直接常溫冷鍍成膜,節能省電,提高產能(néng)。
CJ係列磁(cí)控濺射真空(kōng)鍍膜機 | | | | | |
型號 | CJ-600 | CJ-800 | CJ-1000 | CJ-1200 | CJ-1400 | CJ-1500 | CJ-1600 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真(zhēn)空機組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT800擴散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散(sàn)泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散(sàn)泵機(jī)組 |
鍍膜係統 | 直流或中頻電源、鍍(dù)膜輔助離子專用電源(yuán) |
充氣係統 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量(liàng)計 | 質量流量計 | 質量流量計(jì) | 質量流量計 |
控製方式 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自(zì)動 | 手動或全自動 | 手動或全自(zì)動 | 手動或全自動 | 手(shǒu)動或全自(zì)動(dòng) |
極限真空 | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa |
備注 | 以上設備參數(shù)僅做參考,具體均按客(kè)戶實際工藝要求設計訂做 |