CJ係列磁控濺射(shè)真空鍍膜機(jī)
日期:2016-01-16 13:28:37 人氣:73056
CJ係(xì)列磁控濺射真空鍍膜機的磁控濺射工作原理,所謂“濺射”就是用(yòng)荷能粒子(通常用氣體正(zhèng)離子(zǐ))轟擊物體,從而引(yǐn)起物體表麵原子從母體(tǐ)中逸出的現象。早在1842年Grove在實驗室中就發現了這種現象。磁控濺射靶采用(yòng)靜止電磁場,磁場為曲線形,均勻電場和對數電(diàn)場則(zé)分別用於平麵靶和同軸圓柱靶。電子在電場作用下,加速飛向基片的過程中(zhōng)與氬原子發生碰撞。若電子具有足夠的(de)能量(約為30ev)時,則電離出Ar+並產(chǎn)生電(diàn)子,電子飛向基片,Ar+在電場作用下,加速飛向陰極(濺射(shè)靶)並以高能量轟擊靶表麵,使靶材發(fā)生濺射。
廣泛應用於家電(diàn)電器(qì)、鍾表、高爾夫球(qiú)頭、工藝美術品、玩具、車燈反光罩、手機按鍵外殼以(yǐ)及儀器儀表(biǎo)、塑料、玻璃(lí)、陶瓷、磁磚等表麵裝飾性鍍膜及工模具的功能塗層,在鍍製超黑膜、純金(jīn)裝飾膜、導電膜等領域有優勢。
1)、膜厚可控性和重複性好。能夠可靠的鍍製預定厚度的薄膜,並且濺(jiàn)射鍍(dù)膜可以在較大的表麵上獲得厚(hòu)度均勻的膜(mó)層;
2)、薄膜與基片的附著力(lì)強。部分(fèn)高能量的濺射原子產生不同程度的注入現象,在基片(piàn)上形成一層濺(jiàn)射原(yuán)子與基片原子相互溶合的(de)偽擴散層;
3)、製備特殊材料的薄膜(mó),可以使用不同的材料(liào)同時濺射製備混合膜、化合膜,還(hái)可濺射(shè)成TiN仿金(jīn)膜;
4)、膜層純度高(gāo),濺射膜層中不會混入坩鍋加熱(rè)器材料的(de)成份。
5 )、裝備低溫離子(zǐ)輔助源,無需加熱直接常溫冷鍍成膜,節能省電,提高產能。
CJ係列磁控濺射真空鍍膜機 | | | | | |
型號 | CJ-600 | CJ-800 | CJ-1000 | CJ-1200 | CJ-1400 | CJ-1500 | CJ-1600 |
真空室(shì)尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT800擴散泵(bèng)機(jī)組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵(bèng)機組 |
鍍膜係統 | 直流或中(zhōng)頻電源、鍍膜(mó)輔助離子專(zhuān)用電源 |
充氣係統 | 質量流量計 | 質量流(liú)量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質(zhì)量(liàng)流量計 | 質量流量計 |
控製方(fāng)式 | 手動或全自動 | 手動或(huò)全自動 | 手動或全自(zì)動 | 手動或全自動 | 手動或全(quán)自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 |
極限真空 | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa |
備注 | 以上設(shè)備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂做(zuò) |